Cùng với kích thước và độ sâu quan trọng, độ phản xạ ánh sáng hồng ngoại có thể được sử dụng để xác định điều gì liên quan đến cấu trúc rãnh có tỷ lệ khung hình cao?
Trong ngành công nghiệp bán dẫn, ánh sáng hồng ngoại có thể được sử dụng để mô tả đặc tính của vật liệu như màng mỏng và cấu trúc rãnh tuần hoàn.